СЗМ модуль для оптического микроскопа(MicProbe)

Устройство и работа модуля СЗМ, совмещенного с оптическим микроскопом.

Физический узел СЗМ, совмещенный с оптическим микроскопом, предназначен для исследования поверхности образцов зондом СЗМ проводящих, а также непроводящих объектов методом силовой сканирующей микроскопии под контролем оптического микроскопа, при этом исследователь имеет возможность наблюдать оптическое изображение объекта и место расположения кончика зонда.Одновременно можно получать СЗМ изображение этого же объекта.

Модуль легко устанавливается на стандартный объектив оптического микроскопа.

Исследователь выбирает место для сканирования, наблюдая объект в оптический микроскоп и передвигая объект двухкоординатным столиком оптического микроскопа таким образом, чтобы нужная область находилась непосредственно под зондом СЗМ модуля. Затем запускается процесс приближения зонда к поверхности образца, захват взаимодействия зонда с образцом и производится сканирование зондом поверхности образца.

 

Технические характеристики MicProbe

Система сканирования
Сканирование зондом
Диапазон измерений линейных размеров

в плоскости XY,мкм

не менее 20
Диапазон измерений линейных размеров

по оси Z, мкм

не менее 7
Пошаговое сканирование (Мин. шаг) 3 Å
Среднеквадратичное отклонение (СКО)

результатов измерений линейных

размеров в плоскости XY

не более 5%

 

Среднеквадратичное отклонение (СКО)

результатов измерений линейных

размеров по оси Z

 

Механизм перемещения зонда для сближения зонда с образцом

Диапазон перемещения зонда 10 мм

Минимальный шаг перемещения зонда 20 нм

Максимальная скорость перемещения зонда 200 мкм\c

не более 5%

 

Разрешение
Разрешение в плоскости XY не более 50 нм
Разрешение по оси Z не более 2 нм
Максимальное число точек сканирования по X и Y 1024х1024
Нелинейность сканирования в плоскости XY не более 30 нм
Неортогональнасть сканера в плоскости XY не более 5°
Неплоскостность сканирования в плоскости XY не более 500 нм
Дрейф в плоскости XY не более 5 А/c
Дрейф по оси Z не более 5 А/c
АСМ режим X_Y – 50 нм, вплоть до 10 нм с использованием острой иглы и виброизоляции; Z – 3 нм
СТМ режим X_Y – 10 нм, Z – 3 нм
Операционные системы Windows Vista/7/8.10
Образец
Размер образца определяется типом оптического микроскопа
Толщина образца

определяется типом оптического микроскопа
Возможность подавать напряжение на образец есть
Массо-габаритные характеристики
Габаритные размеры контроллера

(длина x глубина x высота)

280х200х60 мм
Габаритные размеры измерительного модуля

(длина x глубина x высота)

120х50х40 мм
Масса (в комплекте) не более 0.3 кг
Условия эксплуатации
Напряжение питания переменного тока 220(+10/-15%) В
Потребляемая мощность не более 60 Вт
Темепература окружающего воздуха 20±5 °С
Относительная влажность воздуха не более 65±15 %
Атмосферное давление 760±30 мм рт.ст
Дрейф температуры не более 1 °С в час
Амплитуда вибраций в полосе частот

1-1000 Гц

не боле 2 нм


Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Телефон: +7 (812) 251-26-05

По всем вопросам обращайтесь к администратору сайта:
ntspb@corp.ifmo.ru

Технопарк. ООО «НТ-СПб»
199034, Санкт-Петербург, Биржевая линия В. О., д. 14-16