Пьезоинерциальный двигатель (ПД)
Это позиционер однокоординатный универсального применения. Принцип действия основан на движении инерционной массы вдоль направляющей при наличии трения. Устройство управляется несимметричными треугольными импульсами напряжения. В основе конструкции лежит пьезокерамический актуатор в виде пьезопакета. Благодаря большой силе трения инерционная масса, несущая на себе перемещаемый объект, не проскальзывает в состоянии покоя, поэтому устройство может использоваться для перемещения, как по горизонтали, так и по вертикали. Кроме того, ПД может использоваться как сканирующее устройство, например для СЗМ.
Технические данные ПД:
Диапазон дискретного перемещения, мм | ± 5 |
Минимальный шаг, нм | 50 |
Диапазон управляющих напряжений, В | 3- 40 |
Форма управляющего импульса | Треугольный несимметричный импульс |
Максимальная скорость перемещения, мм/с | 2 |
Габаритные размеры, мм | 40х30х13 |
Диапазон перемещения в режиме сканирования (U=120В), мкм | 7 |
Вертикальная нагрузка при горизонтальном перемещении, г | 500 |
На основе пьезоинерциальных двигателей можно построить различные варианты двух- и трехкоординатных позиционеров с нанометровым перемещением, а также конструировать СЗМ различных конфигураций подобно конструктору LEGO. Для автономных применений ПД может снабжаться автономным USB контроллером с тремя каналами управления и соответствующим ПО.
Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Телефон: +7 (812) 251-26-05
По всем вопросам обращайтесь к администратору сайта:
ntspb@corp.ifmo.ru
Технопарк. ООО «НТ-СПб»
199034, Санкт-Петербург, Биржевая линия В. О., д. 14-16