Это устройство перемещает легкий объект по трем координатам под действием линейно нарастающих напряжений (сканер трехкоординатный.) Основой конструкции являются плоские метало-пьезокерамические биморфные элементы. Позиционер метрологически обеспечен линейными оптическими энкодерами для линеаризации движения по осям XY.
Технические данные:
| Точность позиционирования по осям XY, нм | 10 |
| Диапазон управляющих напряжений, В | 0- 250 |
| Резонансная частота, кГц | 0.6-1 |
| Габаритные размеры, мм | 65х65х45 |
| Диапазон перемещения в режиме сканирования (U=250В), мкм | 90х90х20 |
| Макс. Вес образца, г | 10 |
Для автономных применений ПЭ может снабжаться автономным USB контроллером измерения перемещений.
Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Телефон: +7 (812) 251-26-05
По всем вопросам обращайтесь к администратору сайта:
ntspb@corp.ifmo.ru
Технопарк. ООО «НТ-СПб»
199034, Санкт-Петербург, Биржевая линия В. О., д. 14-16